Vui lòng dùng định danh này để trích dẫn hoặc liên kết đến tài liệu này:
http://thuvienlamdong.org.vn:81/handle/DL_134679/24968| Nhan đề: | EFFECT OF TEMPERATURE AND TIME OF BAKING PHASE ON SU-8 PR FILM USED AS A HARD MASK FOR A DEEP LITHOGRAPHY = ẢNH HƯỞNG CỦA NHIỆT ĐỘ VÀ THỜI GIAN SẤY ĐẾN LỚP VẬT LIỆU CẢN QUANG SU-8 SỬ DỤNG LÀM MẶT NẠ CỨNG TRONG KỸ THUẬT QUANG KHẮC SÂU | Tác giả: | Bùi, Tuấn Anh | Từ khoá: | Tạp chí Khoa học & Công nghệ | Năm xuất bản: | 2020 | Tùng thư/Số báo cáo: | Tạp chí Khoa học & Công nghệ - Đại học Công nghiệp Hà Nội - 2020 - no.56 | Định danh: | https://sti.vista.gov.vn/tw/Pages/tai-lieu-khcn.aspx?ItemID=290614 http://thuvienlamdong.org.vn:81/handle/DL_134679/24968 |
| Bộ sưu tập: | Báo - Tạp chí |
Các tập tin trong tài liệu này:
| Tập tin | Kích thước | Định dạng | |
|---|---|---|---|
| 51617-325-155655-1-10-20201028.pdf | 901.65 kB | Adobe PDF | Xem trực tuyến Xem/Tải về |
Các đề xuất từ CORE
Google Scholar TM
Kiểm tra...
Khi sử dụng các tài liệu trong Hệ thống quản lý thông tin nghiên cứu phải tuân thủ Luật bản quyền.