EFFECT OF TEMPERATURE AND TIME OF BAKING PHASE ON SU-8 PR FILM USED AS A HARD MASK FOR A DEEP LITHOGRAPHY = ẢNH HƯỞNG CỦA NHIỆT ĐỘ VÀ THỜI GIAN SẤY ĐẾN LỚP VẬT LIỆU CẢN QUANG SU-8 SỬ DỤNG LÀM MẶT NẠ CỨNG TRONG KỸ THUẬT QUANG KHẮC SÂU

Please use this identifier to cite or link to this item: http://thuvienlamdong.org.vn:81/handle/DL_134679/24968

Title:	EFFECT OF TEMPERATURE AND TIME OF BAKING PHASE ON SU-8 PR FILM USED AS A HARD MASK FOR A DEEP LITHOGRAPHY = ẢNH HƯỞNG CỦA NHIỆT ĐỘ VÀ THỜI GIAN SẤY ĐẾN LỚP VẬT LIỆU CẢN QUANG SU-8 SỬ DỤNG LÀM MẶT NẠ CỨNG TRONG KỸ THUẬT QUANG KHẮC SÂU
Authors:	Bùi, Tuấn Anh
Keywords:	Tạp chí Khoa học & Công nghệ
Issue Date:	2020
Series/Report no.:	Tạp chí Khoa học & Công nghệ - Đại học Công nghiệp Hà Nội - 2020 - no.56
URI:	https://sti.vista.gov.vn/tw/Pages/tai-lieu-khcn.aspx?ItemID=290614 http://thuvienlamdong.org.vn:81/handle/DL_134679/24968
Appears in Collections:	Báo - Tạp chí

Files in This Item: