Request a document copy: EFFECT OF TEMPERATURE AND TIME OF BAKING PHASE ON SU-8 PR FILM USED AS A HARD MASK FOR A DEEP LITHOGRAPHY = ẢNH HƯỞNG CỦA NHIỆT ĐỘ VÀ THỜI GIAN SẤY ĐẾN LỚP VẬT LIỆU CẢN QUANG SU-8 SỬ DỤNG LÀM MẶT NẠ CỨNG TRONG KỸ THUẬT QUANG KHẮC SÂU
Vui lòng nhập vào phần email 1 địa chỉ email hợp lệ (VD: buianh.tvtt@gmail.com). Thư viện Dspace sẽ gửi bản sao tài liệu tới địa chỉ email của bạn nếu tài liệu không chứa các nội dung cần được bảo mật hay giới hạn đối tượng người dùng
